檢測真空度的測試儀器

對處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室兩端加高壓時，檢測真空度測試儀器會有數(shù)值不等的幾個微安的漏電電流，此漏電電流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個體差異。尤其是對于裝在整機(jī)上的真空滅弧室，由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電，這此漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測性，并且在數(shù)值上與10E- 4Pa 數(shù)量級的真空滅弧室的電離電流相當(dāng)。

主要特點(diǎn)

1、檢測真空度的測試儀器基于電離電荷的采樣技術(shù)
真空度測試儀均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。我公司工程師在磁放電的研究中發(fā)現(xiàn)，在外激勵電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時，真空滅弧室里的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對應(yīng)關(guān)系，而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)性。因此，我公司刨了基于電離電荷的采樣技術(shù)，顯著提高了真空滅弧室的真空度計量的準(zhǔn)確性。
2、檢測真空度的測試儀器漏電電流的處理

我們采用兩次起動高壓的方法，扣除了漏電電流，保證了無論是裝于整機(jī)上還是待裝的真空滅弧室的真空計量精度。

   3、內(nèi)置國內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測量曲線

真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同，當(dāng)內(nèi)部真空度和外加激勵電源一定時，其放電電荷量是不同的，并且有相當(dāng)?shù)牟町?。為?zhǔn)確測量，對每一種真空滅弧室必須有對應(yīng)的從電離電荷量到真空度的推算曲線。
   4、完善的輸入保護(hù)電路

當(dāng)真空滅弧室的真空度非常低時，測量時真空滅弧室會被高壓擊穿，瞬間的高壓直接加至信號輸入端的采樣電路上，使其承受十分強(qiáng)的電沖擊。該系列產(chǎn)品的信號輸入端的采樣電路增加了完備的保護(hù)電路，即使儀器由于輸入端的高壓沖擊而發(fā)生暫時工作不正常時（重新開機(jī)即可），也不會造成電路部分的損壞。

技術(shù)參數(shù)

    1、 真空度測試儀測量范圍： 9.999×10-1～1×10-5 
    2、 離子電流測量范圍：9.999×10-1～1×10-7 
    3、 測量誤差：＜10% 
    4、 測量分辨率：10-5pa 
    5、 允許環(huán)溫： -20℃～50℃ 
    6、 空氣濕度： ≤80%RH 
    7、 工作電源： AC/220V/50Hz±10% 
    8、 外型尺寸： 420×290×210（mm） 
    9、 高壓輸出：  脈沖30kV15kHz
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